低温制冷机也可以如气体捕集运用，将制冷剂直接通入捕集器蒸发，通过捕集器表面冷凝效应，迅速捕集空间中的气体。

控温系统，即温度控制系统，是用于精确控制物体或环境温度的复杂设备系统。根据不同的应用场景，可以分为多种类型，如TCU控温系统、集散式控温系统以及针对特定领域如新能源部件测试的控温系统。

低温制冷机也可以如气体捕集运用，将制冷剂直接通入捕集器蒸发，通过捕集器表面冷凝效应，迅速捕集空间中的气体。

高低温循环装置主要应用于：高压反应釜、中试生产不锈钢反应釜、双层玻璃反应釜、夹套反应釜、微通道反应器、反应装置、组合化学等冷热源动态恒温控制以及制药行业中的低温蒸馏、精馏、萃取等设备中，该系列可提供 -80℃~+250℃的温度控制范围，特殊可升级高温至300℃，特别适用于快速放热和吸热的化学反应试验。

高低温循环系统主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。

晶圆生产完成后，需要对其进行各种参数的检测，在检测的过程中，需要在不同温度下进行测试，晶圆测试用温控设备（晶圆测试温控系统）是高精度，高分辨率，高稳定性的控制设备。